phoenix nanotom m
180kV/15W X-ray nanoCT系統
適用于高分辨率分析和3D量測
集成高分辨率、高對比度分辨與大范圍檢測于一體
多功能3D計算機斷層掃描系統
針對工業檢測與科學研究及量測應用的廣泛要求，如無損結構檢測和缺陷分析，質量保證和產品控制等，高分辨率計算機斷層成像技術(CT)越發成為強有力的檢測工具。得益于180kV/15W高性能納米焦點X射線管，精密的機械系統和精湛的軟件模塊，phoenix nanotom m是3D CT應用的選擇之一。一旦掃描完成，即獲得了全部的三維CT信息，進而可進行各種分析，如：切片數據3D可視化，任意方向虛擬剖視，或全自動缺陷識別。由于獲得了試件的所有幾何信息，即使對復雜工件亦可進行精確、可再現的3D測量。不到1小時即可獲得初檢報告。
電子封裝中TSV的nanoCT。銅柱填充中的氣孔清晰可見。
AlMg5Si7合金(φ350μm)的3D切片：鐵—鋁和Mg2Si金相。
噴射器鑄件3D圖像，可顯示細節特征。
nanoCT－接近于同步輻射CT
滿足高分辨率掃描的同時，nanoCT的潛力、便捷和經濟性可在各種應用領域與很難獲得的同步輻射光源相媲美，如：
- 材料科學
- 亞微米工程
- 電子學
- 生命科學
- 地質學
噴射器鑄件實物與CAD自動對比分析，圖示為5個特征點的偏差
高分辨率CT 3D量測
對復雜試件隱藏的或不易接觸到的表面進行掃描時，相比于傳統的接觸式或光學三坐標測量儀(CMMs)，CT擁有大的優勢。采用該系統優化的3D量測模塊，phoenix nanotom m包含了采用CT進行高精度、可再現掃描所必需的特征。
- 溫度自穩定型屏蔽室
- 高精度直接測量系統
- 防震機械平臺
- 溫度自穩定型 DXR探測器，有效優化成像質量
- 長期穩定、優化的X射線管，金剛石窗口陽極靶可有效減少偽影
- 2套校準工具
- phoenix datos|x "click & measure|CT" 和 "Metrology" 軟件
三維納米CT：人造骨的檢測（陶瓷基質和鋁涂層）
phoenix datos|x 先進的CT軟件
全自動數據采集和體數據分析處理
采用datos|x軟件，整個CT流程鏈可全自動進行。這有效減少了操作時間和人為因素影響，同時提高了CT結果的可重復性和可再現性。一旦進行合適的編程設置，整個掃描和重建流程，包括體數據優化（如：自動射束硬化校正）或表面提取均可全自動進行。更進一步，3D缺陷識別或量測任務，如初檢報告的生成均可自動執行。
精確、可靠和快速的CT結果
得益于phoenix datos|x CT軟件，使用phoenix|x-ray CT系統進行3D量測和缺陷分析變得更加高效便捷。
- click & measure|CT：全自動數據采集與體數據處理——放入試件，開始CT掃描，檢查結果
- 可再現的高精度3D量測和缺陷識別任務，只需短時間的操作培訓即可完成
- 減少了所需的操作時間，僅為傳統操作的1/5
- 多樣模塊使得操作方便快捷，CT結果精確可靠
- 得益于批處理CT掃描和提高9倍速度的體數據重建，有效提高CT檢測效率
可視化datos|X軟件，清晰顯示CT結
果的2D切片和3D渲染模式
phoenix nanotom m－優點
- 空間分辨率和對比靈敏度，較大的檢測范圍——從較小的材料到中等大小的塑料試件，覆蓋了3個數量級尺寸的試件(試件大小可從0.25mm到250mm)
- 優化的3D量測模塊，可獲得穩定的采集條件，數分鐘即可完成重建，并獲得可再現的檢測結果
- 得益于溫度自穩定型 DXR數字平板探測器(3,072×2,400像素)，高動態響應范圍>10,000:1，可獲得高的成像質量
- 可檢測試件：直徑240mm，高度250mm，承載3kg(6.6 lbs.)
- 放大比自動連續可調
- 系統設計和phoenix datos|x CT軟件，操作簡便性的優化
全新X射線管設計優化，長期穩定性高
技術規格與配置
| phoenix nanotom s | phoenix nanotom m | |
| X 射線管類型 | 開放式高功率納米焦點 X 射線管，優化的長期穩定性 | |
| 可選射線管冷卻裝置 | 射線管內冷卻 | |
| 管電壓 / 功率 | 180 kV / 15W | |
| 陽極靶 | 鍍鎢靶 ( 可選 CVD 金剛石鍍鎢靶 ) | CVD 金剛石上鍍鎢，在圖像質量相同的情況下數據采集速度可提高 2 倍 |
| 穿透型，旋轉可調以多次使用 ( 其它陽極靶材料，如鉬可根據需要配置 ) | ||
| 燈絲 | 鎢絲，預調直插式，更換方便快捷 | |
| 幾何放大比 (3D) | 1.7 x - 250 x | 1.5 倍到 300 倍 |
| 細節分辨力 | 可達 200 納米 (0.2 微米 ) | 可達 200 納米 (0.2 微米 ) |
| 體素 | 可達 500 納米 (0.5 微米 ) | 可達 300 納米 (0.3 微米 ) |
| 探測器類型 | 高對比度探測器 , 12 位 , 3 倍虛擬探測器放大 ( 探測器寬度可達 6,900 像素 ) | 高動態范圍和溫度自穩定型 DXR 探測器，14 位，1.5倍虛擬探測器放大 ( 探測寬度可達 4,600 像素 ) |
| 像素 | 2,300×2,300 | 3,072×2,400 |
| 探元大小 | 50 微米 | 100 微米 |
| 機械平臺 | 大理石基座，5 軸機械操控平臺，防震裝置，氣動軸承的高精度轉臺 | |
| 射線源到探測器距離 | 200 mm 至 500 mm | 220 mm 至 600 mm |
| 試件直徑 | < 1 mm 至 120 mm | < 1 mm 至 240 mm |
| 試件高度 / 重量 | 150 mm / 2 kg (4.4 lbs.) | 250 mm / 3 kg (6.6 lbs.) |
| 試件行程 Y/Z | 150 mm / 300 mm | 250 mm / 400 mm |
| 旋轉 | 0? - 360? × n | |
| 系統尺寸 | 1,630 mm×1,432 mm×740 mm (64.2"×56.3"×29.1" ) | 1,980 mm×1,600 mm×925 mm (78"×63"×36.4" ) |
| 系統重量 | Appr. 1,300 kg / 2,870 lbs. | 約 1900kg/4198lbs. |
| 可選 3D 量測模塊 | 溫度自穩定屏蔽室，高精度直接測量系統，校準工具，phoenix datos|x CT 軟件包 "click & measure|CT" 和"metrology" 模塊 | |
| 軟件 | phoenix datos|x 3D 計算機斷層掃描數據采集和數據重建軟件。依據如 3D 測量，失效分析或結構分析等等不同需要可配置 不同的 3D 數據處理和分析軟件。 | |
| CT 數據重建 | phoenix datos velo|CT 快速重建 (2 GPUs) | phoenix datos velo|CT 高速重建 (5 GPUs) |
| datos|x 基本模塊 | auto|sco 自動掃描優化模塊 , sector|scan 局部掃描模塊 , fast|scan 快速掃描模塊 , multi|scan 多次掃描模塊 ,
multi|volume reconstruction 多數據重建模塊 , agc| 模塊 - 自動幾何校正，bhc+| 模塊 - 自動射束硬化校正， rar| 模塊 - 環狀偽影校正 |
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| 可選模塊 | datos|x 3D "metrology" 模塊，"click & measure|CT" 模塊 | |
| 可選的高級樣品平臺 | 手動調整高精度定位平臺，拉伸和壓縮試驗臺系統，試樣冷卻裝置 | |
| 電機驅動 XY 平臺 | ||
| 輻射防護 | 輻射安全屏蔽室是全方位防護式屏蔽鉛房，符合德國 R?V，法國 NFC 74 100 和美國性能標準 21CFR 的相關標準要求進行設計和制造。對于設備的操作，須根據當地的相關法律法規申請相應的認證許可。 | |