1200℃單溫區經濟型兩路氣體CVD

產品名稱

1200℃單溫區經濟型兩路氣體CVD系統

2

產品型號

YH-O1200-（50-100）IC150-D2FH

3

爐管直徑

50mm、60mm、80mm、100mm（可選）

4

爐膛模式

開啟式

5

爐膛材料

進口纖維

6

加熱元件

進口合金加熱絲

7

極限溫度

1200℃

8

工作溫度

≤1150℃

9

升溫速率

≤20℃(建議:10℃/min)

10

加熱溫區

單溫區

11

溫區長度

440mm

12

恒溫區長

200mm

13

爐管材質

高純石英

14

   爐管長度

1000mm

15

密封方式

不銹鋼真空法蘭

16

氣 密 性

真空法蘭和剛玉爐管的氣密性更高可達4.03×10-3Pa

17

控制模式

智能PID多段程序控溫

18

控溫精度

±1℃

19

溫度曲線

多段"時間—溫度曲線"任意可設

20

預存曲線

可預存一條溫度曲線

21

電流監控

指針式電流計

22

電壓監控

指針式電壓計

23

整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm

24

超溫報警

有

25

過流保護

有

26

斷偶提示

有

27

測溫元件

K型熱電偶

28

電氣認證

CE認證

29

供電電源

220V 50Hz～60Hz

30

整機功率

2.5KW

31

氣體通道

可連接3種氣源

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流 量 計

浮子流量計

33

A路量程

10～100ml/min

34

B路量程

16～160ml/min

35

氣路壓力

-0.1～0.15 MPa

36

系統真空

5～10Pa（需要達到其它真空度時，需選配不同的抽真空裝置）

37

真 空 計

標準配置機械真空計，也可選配電子真空計

38

泵路鏈接

KF16不銹鋼波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥

39

售后服務

12個月質保，終身保修

40

包裝形式

三合板木質包裝箱

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隨機配件

石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、防護手套、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉接頭、5mm內六角扳手。